Het halfgeleider fabricageproces is extreem agressief en eist de beste keuze van afdichtingmaterialen met de langste levensduur samen met de laagste verontreiniging om de hoogste efficiëntie en opbrengst te garanderen.
Europe Seals levert O-ringen en rubber vormdelen (bijv.: Deurafdichtingen) voor diverse producten:

• Ovens
• Pompen en ventielen
• Productbehandeling
• Proces automatiseringsapparatuur

Mogelijke afdichtingmaterialen voor verschillende halfgeleider processtappen:

Wafer voorbereiding (Kristalgroei)

• Siliconen (High Temp)
• FEP ommanteld Siliconen
• *Perfluor (zwart of wit)
• FPM (zwart of wit)
• PTFE

Thermische processen LPCVD en oxidatie

• Siliconen (High Temp)
• FEP ommanteld Siliconen
• Perfluor (zwart of wit)
• FPM (zwart of wit)
• PTFE

EPI (Epitaxiale Silicium)

• Siliconen (High Temp)
• FEP ommanteld Siliconen
• Perfluor (zwart of wit)
• FPM (zwart of wit)
• PTFE

CVD (Chemical vapor deposition)

• Perfluor (zwart of wit)
• FPM (zwart of wit)

PVD (Physical vapor deposition)

• Perfluor (zwart of wit)
• FPM (zwart of wit)

Fotolithografie

• Perfluor (transparant) (zie foto)
• FPM (zwart of wit)
• EPDM (Peroxide Cured)

Natetsen

• FPM
• Perfluor (transparant of zwart)
• FEP ommanteld FPM of Siliconen
• PTFE

Plasma etsen

• Perfluor (wit of transparant)
• FPM wit

Strippen

• Perfluor (transparant of zwart)
• FPM
• Aflas^®
• EPDM (Peroxide Cured)
• FEP ommanteld FPM of Siliconen
• PTFE

Plasmaverassing

• Perfluor (wit of transparant)
• Siliconen (VMQ)
• FPM
• Fluorsiliconen (FVMQ)

Materiaal databladen om te downloaden (PDF-bestanden)
Perfluor Zwart (PDF)
Perfluor Wit (PDF)
Perfluor Transparant (PDF)

*Opmerking: Al onze Perfluor Materialen zijn “Clean Room” vervaardigd en verpakt.